3.投标人资格要求

3.2业绩要求：投标人应具有1份2021年1月1日以来已签订的1份类似的【送气系统（乙硼烷）或气体供应（易燃易爆或有毒气体）或等离子体放电清洗系统或离子源】的供货业绩，提供合同复印件。合同内容应能体现甲乙双方盖章页、合同签订或生效时间、标的物名称（如有必要提供技术协议或技术附件或供货清单）等主要内容，业绩证明除合同形式外，也可为协议或任务书等其它具有法律约束力的契约文件。未能体现上述评审要素的不予认可。

3.投标人资格要求

3.2业绩要求：投标人应具有1份2021年1月1日以来已签订的类似送气系统（乙硼烷或硅烷）或等离子体放电清洗系统或高压电源（电压不低于2.5kv）的供货业绩，提供合同复印件。合同内容应能体现甲乙双方盖章页、合同签订或生效时间、标的物名称（如有必要提供技术协议或技术附件或供货清单）等主要内容，业绩证明除合同形式外，也可为协议或任务书等其它具有法律约束力的契约文件。未能体现上述评审要素的不予认可。

2.2.4（1）商务评分标准 企业业绩

在满足资格条件的基础上，根据投标人多具有1份 2021年1月1日以来已签订的合同金额＞50万元的类似的【送气系统（乙硼烷）或气体供应（易燃易爆或有毒气体）或等离子体放电清洗系统或离子源能量 ≥50 kev的离子源】的供货业绩。按以下标准评分：

1）具有送气系统（乙硼烷）或气体供应（易燃易爆或有毒气体）的供货业绩，得0.75分

2）具有等离子体放电清洗系统的供货业绩，得1.5分

3）具有离子源能量 ≥50 kev的离子源供货业绩，得0.75分

注：

1）提供合同复印件。合同内容应能体现甲乙双方盖章页、合同签订或生效时间、标的物名称（如有必要提供技术协议或技术附件或供货清单）等主要内容，业绩证明除合同形式外，也可为协议或任务书等其它具有法律约束力的契约文件。未能体现上述评审要素的不予认可。

2）同一业绩证明资料同时满足上述评分标准的可累计得分。

2.2.4（1）商务评分标准 企业业绩

在满足资格条件的基础上，根据投标人应具有 2021年1月1日以来已签订的合同金额＞50万元的类似送气系统（乙硼烷或硅烷）或等离子体放电清洗系统或高压电源（电压不低于2.5kv）的供货业绩。按以下标准评分：

1）提供送气系统（乙硼烷或硅烷）的供货业绩，得0.75分

2）提供等离子体放电清洗系统的供货业绩，得1.5分

3）提供高压电源（电压不低于2.5kv）的离子源供货业绩，得0.75分

注：

1）提供合同复印件。合同内容应能体现甲乙双方盖章页、合同签订或生效时间、标的物名称（如有必要提供技术协议或技术附件或供货清单）等主要内容，业绩证明除合同形式外，也可为协议或任务书等其它具有法律约束力的契约文件。未能体现上述评审要素的不予认可。

2）同一业绩证明资料同时满足上述评分标准的可累计得分。